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ULVAC愛發科 渦輪分子泵 羅茨泵 UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS 渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容。控制器單元可以監控運行狀態并支持各種通信標準

ULVAC愛發科 渦輪分子泵 羅茨泵 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D PMB系列Ver.D是通用型羅茨泵。可以選擇表面處理或大氣壓驅動型，可以在空冷下運轉

ULVAC愛發科 隔膜型干泵 真空泵 VS650B / VS750B VS650B／VS750B 是旋片式（單級）的油旋轉真空泵。可搭配羅茨泵獲得更大的排氣量。內置油霧過濾器和回油裝置，排氣性能長期穩定。 此外，設計上還考慮到了油和濾芯更換等維保的便宜性

ULVAC愛發科 隔膜型干泵 真空泵 DAP-9D-DC24 膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。 泵體結構采用無油環境設計，維護簡單。 DAP系列是我公司產品系列中最小型的膜片泵、50Hz時的泵速每分鐘從6L到12L

ULVAC愛發科 隔膜型干泵 真空泵 DTC-41K 通過橡膠薄膜(膜片)的往復運動而排氣的真空泵。 結構簡單,易于操作。 DTC系列是高耐腐型